
Marktbericht zur Halbleiter-Lithografie-Metrologie 2025: Eingehende Analyse der technologischen Fortschritte, Marktdynamiken und globalen Wachstumsprognosen. Entdecken Sie wichtige Trends, wettbewerbsfähige Strategien und zukünftige Chancen, die die Branche gestalten.
- Zusammenfassung & Marktübersicht
- Haupttechnologietrends in der Lithografie-Metrologie
- Wettbewerbslandschaft und führende Akteure
- Marktgröße, Wachstumsprognosen & CAGR-Analyse (2025–2030)
- Regionale Marktanalyse: Nordamerika, Europa, Asien-Pazifik & Rest der Welt
- Herausforderungen, Risiken und aufkommende Chancen
- Zukünftige Ausblicke: Innovation, Investitionen und strategische Empfehlungen
- Quellen & Referenzen
Zusammenfassung & Marktübersicht
Der Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie ist ein kritischer Sektor innerhalb der breiteren Halbleiterfertigungsindustrie, der die Mess- und Inspektionslösungen bereitstellt, die notwendig sind, um die Genauigkeit und den Ertrag fortschrittlicher integrierter Schaltkreise sicherzustellen. Die Lithografie-Metrologie umfasst eine Reihe von Technologien und Werkzeugen, die zur Messung kritischer Dimensionen (CD), Überlagerung und Musterübereinstimmung während und nach dem Photolithographieverfahren eingesetzt werden. Da die Geometrien von Halbleiterbauelementen weiterhin schrumpfen, wobei führende Knoten auf 3 nm und darunter vorrücken, hat sich die Nachfrage nach hochpräzisen und zuverlässigen Metrologielösungen intensiviert.
Im Jahr 2025 wird prognostiziert, dass der globale Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie ein robustes Wachstum erleben wird, angetrieben durch den fortlaufenden Übergang zu fortschrittlichen Prozessknoten, die Verbreitung von künstlicher Intelligenz (KI), 5G und Hochleistungscomputing (HPC)-Anwendungen. Laut SEMI wird erwartet, dass der gesamte Halbleiterausrüstungsmarkt 100 Milliarden USD überschreiten wird, wobei Metrologie- und Inspektionswerkzeuge einen bedeutenden und wachsenden Anteil darstellen. Die zunehmende Komplexität von Mehrfachmusterung, extrem ultravioletter (EUV) Lithografie und 3D-Geräteamarchitekturen hat die fortschrittliche Metrologie für die Prozesskontrolle und Ertragssteigerung unverzichtbar gemacht.
Die wichtigsten Akteure im Metrologiemarkt für Lithografie sind ASML Holding, KLA Corporation, Hitachi High-Tech Corporation und Onto Innovation. Diese Unternehmen investieren erheblich in Forschung und Entwicklung, um Plattformen der nächsten Generation zu entwickeln, die in der Lage sind, die strengen Anforderungen der sub-5nm-Fertigung zu erfüllen. Innovationen wie optische Streuometrie, kritische Dimensionen Rasterelektronenmikroskopie (CD-SEM) und Inline-Überlagerungsmessungen werden von führenden Foundries und integrierten Geräteherstellern (IDMs) schnell übernommen.
Geografisch bleibt Asien-Pazifik die dominierende Region, angeführt von bedeutenden Investitionen in Halbleiterfertigungsanlagen in Taiwan, Südkorea und China. Die führende Rolle der Region wird durch die Präsenz großer Chiphersteller und staatlich unterstützte Initiativen zur Stärkung der nationalen Halbleiterkapazitäten verstärkt. Nordamerika und Europa haben ebenfalls starke Positionen, unterstützt durch fortschrittliche F&E-Ökosysteme und strategische Investitionen in Technologien der nächsten Generation für Lithografie und Metrologie.
Zusammenfassend ist der Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie im Jahr 2025 durch technologische Innovation, steigende Investitionen der Chiphersteller und einen verstärkten Fokus auf die Prozesskontrolle gekennzeichnet, um die fortlaufende Skalierung von Halbleitergeräten zu ermöglichen. Die Entwicklung des Marktes steht in engem Zusammenhang mit der Evolution der Lithografietechniken und dem unaufhörlichen Streben nach höheren Leistungen, geringerem Energieverbrauch und größerer Integration in Halbleiterprodukten.
Haupttechnologietrends in der Lithografie-Metrologie
Die Halbleiter-Lithografie-Metrologie befindet sich 2025 in einem raschen Wandel, angetrieben durch den unaufhörlichen Druck in Richtung kleinerer Prozessknoten, fortschrittlicher Verpackungen und heterogener Integration. Während die Geometrien der Geräte die sub-3nm-Skala erreichen, stehen traditionelle Metrologie-Techniken vor erheblichen Herausforderungen in Bezug auf Genauigkeit, Durchsatz und nicht zerstörende Messung. Die folgenden Haupttechnologietrends prägen die Landschaft:
- Fortschritte in der optischen und hybriden Metrologie: Optische Metrologie bleibt grundlegend, ihre Grenzen an fortschrittlichen Knoten haben jedoch die Integration hybrider Ansätze angestoßen. Techniken wie Streuometrie, Ellipsometrie und kritische Dimensionen Rasterelektronenmikroskopie (CD-SEM) werden zunehmend kombiniert, um die Messgenauigkeit und Prozesskontrolle zu verbessern. Hybride Metrologie nutzt die Stärken jeder Methode und bietet reichhaltigere Datensätze für KI-gestützte Analysen (KLA Corporation).
- Erhöhte Akzeptanz von maschinellem Lernen und KI: Künstliche Intelligenz und Algorithmen für maschinelles Lernen sind jetzt integraler Bestandteil der Analyse von Metrologiedaten. Diese Werkzeuge ermöglichen die Echtzeit-Defekterkennung, prädiktive Wartung und Prozessoptimierung, wodurch die Zykluszeiten erheblich verkürzt und der Ertrag gesteigert wird. KI-gesteuerte Lösungen sind besonders wertvoll für die Analyse der riesigen Datensätze, die von fortschrittlichen Metrologie-Werkzeugen erzeugt werden (Applied Materials).
- Inline- und In-Situ-Metrologie: Die Nachfrage nach höherem Durchsatz und reduzierter Prozessvariabilität beschleunigt den Übergang zur Inline- und In-Situ-Metrologie. Diese Systeme bieten sofortiges Feedback während der Waferverarbeitung, was dynamische Prozessanpassungen ermöglicht und kostenintensive Nacharbeiten minimiert. Die In-Situ-Metrologie ist besonders wichtig für die EUV-Lithografie, bei der die Prozessfenster extrem eng sind (ASML Holding).
- Metrologie für fortschrittliche Verpackungen: Da fortschrittliche Verpackungstechnologien wie 2.5D und 3D-Integration an Bedeutung gewinnen, entwickeln sich die Metrologielösungen weiter, um neue Herausforderungen in Bezug auf Überlagerung, Stoßhöhe und Interkonnektivitätsinspektion zu berücksichtigen. Zerstörungsfreie, hochauflösende Techniken sind entscheidend, um die Zuverlässigkeit und Leistung in diesen komplexen Architekturen sicherzustellen (TechInsights).
- Auftreten von Röntgen- und Elektronentechniken: Um die Grenzen optischer Methoden auf atomarer Ebene zu überwinden, werden Röntgen- und elektronische Metrologie-Werkzeuge zur kritischen Dimension und Materialcharakterisierung eingesetzt. Diese Techniken bieten unerreichte Auflösung und sind zunehmend wichtig für die Prozesskontrolle an der Frontlinie (Carl Zeiss AG).
Diese Trends unterstreichen kollektiv die tragende Rolle der Innovation in der Halbleiter-Lithografie-Metrologie, während die Branche 2025 auf immer kleinere Knoten und komplexere Gerätearchitekturen zusteuert.
Wettbewerbslandschaft und führende Akteure
Die Wettbewerbslandschaft des Marktes für Halbleiter-Lithografie-Metrologie im Jahr 2025 ist durch eine konzentrierte Gruppe von globalen Akteuren geprägt, die jeweils fortschrittliche Technologien nutzen, um der zunehmenden Komplexität der Halbleiterfertigung Rechnung zu tragen. Der Markt wird hauptsächlich von einer Handvoll etablierter Unternehmen dominiert, wobei ASML Holding, KLA Corporation und Hitachi High-Tech Corporation die Führung übernehmen. Diese Unternehmen haben ihre Positionen durch kontinuierliche Innovation, strategische Partnerschaften und bedeutende Investitionen in Forschung und Entwicklung gehalten.
ASML, bekannt für seine Lithographiesysteme, hat sein Metrologie-Portfolio erweitert, um seine EUV (Extreme Ultraviolet) Lithografielösungen zu ergänzen, und bietet integrierte Metrologie-Module an, die Prozesskontrolle und Ertrag verbessern. KLA Corporation bleibt eine dominierende Kraft und bietet ein umfassendes Portfolio an Metrologie- und Inspektionswerkzeugen, einschließlich fortschrittlicher Überlagerungsmessungen und Systeme zur Messung kritischer Dimensionen (CD). Der Fokus von KLA auf KI-gesteuerte Analysen und Inline-Prozesskontrolle hat seine Marktführerschaft weiter verstärkt. Hitachi High-Tech ist unterdessen bekannt für seine hochauflösenden CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope)-Systeme, die weit verbreitet für die Fertigung von Knoten unter 5nm eingesetzt werden.
Weitere namhafte Akteure sind Onto Innovation (ehemals Nanometrics und Rudolph Technologies), das sich auf optische Metrologie und Inspektionslösungen spezialisiert hat, sowie Carl Zeiss SMT, ein wichtiger Anbieter von optischen Komponenten und Metrologiesystemen für fortschrittliche Lithografie. Nikon Corporation und Canon Inc. sind ebenfalls vertreten, insbesondere im Bereich der Überlagerungsmessung und Ausrichtungsysteme, obwohl ihr Marktanteil stärker in älteren Knoten und spezifischen regionalen Märkten ausgeprägt ist.
- ASML Holding: Integrierte Metrologie für EUV- und DUV-Lithografie
- KLA Corporation: Breites Metrologie-Portfolio, KI-gesteuerte Analysen
- Hitachi High-Tech Corporation: CD-SEM-Führerschaft für fortschrittliche Knoten
- Onto Innovation: Optische Metrologie und Inspektion
- Carl Zeiss SMT: Optische Metrologie und Komponenten
- Nikon Corporation und Canon Inc.: Überlagerungs- und Ausrichtungsmetrologie
Die Wettbewerbsdynamik wird zusätzlich durch das rasche Tempo technischer Veränderungen geprägt, da führende Akteure darauf drängen, sub-3nm- und zukünftige Knoten zu unterstützen. Strategische Kooperationen zwischen Ausrüstungsanbietern und Halbleiterfoundries, wie sie zwischen ASML und großen Chipherstellern üblich sind, nehmen zu, um Innovationen zu beschleunigen und die strengen Anforderungen an Geräte der nächsten Generation zu erfüllen. Infolgedessen bleiben die Eintrittsbarrieren hoch, und der Markt wird voraussichtlich bis 2025 unter diesen wichtigen Akteuren konsolidiert bleiben.
Marktgröße, Wachstumsprognosen & CAGR-Analyse (2025–2030)
Der globale Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie steht zwischen 2025 und 2030 vor robustem Wachstum, angetrieben von der steigenden Nachfrage nach fortschrittlichen Halbleitergeräten, der Verbreitung von KI- und IoT-Anwendungen und dem fortwährenden Übergang zu sub-5nm-Prozessknoten. Laut aktuellen Branchenanalysen wird erwartet, dass die Marktgröße für Halbleiter-Lithografie-Metrologie bis 2025 etwa 2,8 Milliarden USD erreichen wird, mit Erwartungen, die 4,5 Milliarden USD bis 2030 übersteigen werden. Dies spiegelt eine durchschnittliche jährliche Wachstumsrate (CAGR) von etwa 9,8% während des Prognosezeitraums wider MarketsandMarkets.
Wichtige Wachstumstreiber umfassen die zunehmende Komplexität der Halbleiterfertigung, die präzise Metrologielösungen für kritische Dimensionen (CD)-Messungen, Überlagerungskontrolle und Fehlerinspektion erfordert. Die Einführung von extrem ultravioletter (EUV) Lithografie in der Hochvolumenfertigung verstärkt zusätzlich die Notwendigkeit für fortschrittliche Metrologie-Werkzeuge, die in der Lage sind, engere Prozess-Toleranzen und kleinere Merkmalsgrößen zu bewältigen SEMI. Darüber hinaus wird auch die Expansion der Foundry-Kapazitäten im Asien-Pazifik-Raum, insbesondere in Taiwan, Südkorea und China, voraussichtlich erheblich zum Marktwachstum beitragen, da diese Regionen weiterhin erheblich in die Fertigung von Halbleitern der nächsten Generation investieren Gartner.
- Nach Technologie: Optische Metrologie bleibt das dominierende Segment, aber e-Beam- und hybride Metrologielösungen gewinnen aufgrund ihrer überlegenen Auflösung und Genauigkeit für fortschrittliche Knoten an Bedeutung.
- Nach Anwendung: Hersteller von Logik- und Speichergeräten sind die Hauptanwender, wobei die Nachfrage ansteigt, während die Chipproduzenten auf 3nm und darunter drängen.
- Nach Region: Asien-Pazifik führt den Markt an und macht über 60% des globalen Umsatzes aus, gefolgt von Nordamerika und Europa.
Blickt man in die Zukunft, wird erwartet, dass der Markt von fortlaufenden F&E-Investitionen, der Integration KI-gesteuerter Analysen in Metologiesysteme und dem Auftreten neuer Materialien und Gerätearchitekturen profitieren wird. Herausforderungen wie hohe Ausrüstungskosten und technische Barrieren bei der Skalierung von Metrologie für Geräte der nächsten Generation könnten jedoch das Wachstumstempo bremsen. Insgesamt steht der Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie vor einer nachhaltigen Expansion, untermauert durch den unaufhörlichen Drang nach Miniaturisierung und Ertragssteigerung in der Halbleiterfertigung TECHCET.
Regionale Marktanalyse: Nordamerika, Europa, Asien-Pazifik & Rest der Welt
Der Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie steht 2025 vor differenziertem Wachstum in wichtigen Regionen, angetrieben durch unterschiedliche Investitionsniveaus in die Halbleiterfertigung, technologische Entwicklungen und staatliche Initiativen.
- Nordamerika: Diese Region, angeführt von den Vereinigten Staaten, bleibt ein globales Zentrum für fortschrittliche Halbleiter-F&E und -fertigung. Die laufende Umsetzung des CHIPS and Science Act katalysiert bedeutende Kapitalzuweisungen in lokale Fabriken, wobei große Akteure wie Intel und TSMC (Arizona) ihre Präsenz in den USA ausweiten. Dieser Anstieg der Produktion an fortschrittlichen Knoten belebt die Nachfrage nach hochmodernen Metrologielösungen, insbesondere für EUV- und DUV-Lithografieprozesse. Der Fokus der Region auf modernste Knoten (5nm und kleiner) erfordert hochpräzise Metrologie-Tools, die robustes Marktwachstum unterstützen.
- Europa: Die Halbleiterstrategie Europas, untermauert durch das Europäische Chips-Gesetz, treibt Investitionen sowohl in die reifen als auch in die fortgeschrittenen Knotenfertigung voran. Wichtige Länder wie Deutschland, Frankreich und die Niederlande beherbergen bedeutende Zulieferer wie ASML, das den globalen Lithografiemarkt dominiert. Europäische Fabriken übernehmen zunehmend fortschrittliche Metrologie-Systeme, um die Produktionskapazitäten für Automobile, Industrie und IoT-Chips zu unterstützen. Der Fokus der Region auf Resilienz in der Lieferkette und technologische Souveränität wird voraussichtlich die steady Demand nach Metrologiegeräten im Jahr 2025 aufrechterhalten.
- Asien-Pazifik: Der Asien-Pazifik-Raum bleibt der größte und am schnellsten wachsende Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie und macht laut SEMI über 60% der globalen Halbleiterfertigungskapazität aus. Länder wie Taiwan, Südkorea, China und Japan investieren aggressiv in neue Fabriken und Prozesstechnologie-Upgrades. Führende Foundries wie TSMC und Samsung Electronics stehen an der Spitze der Produktionsprozesse unter 5nm und 3nm, was die Nachfrage nach Next-Generation-Metrologiewerkzeugen anhebt. Chinas Bestreben nach Halbleiter-Selbstversorgung beschleunigt zudem die Entwicklung und Übernahme von lokalen Metrologiegeräten.
- Rest der Welt: In Regionen wie dem Mittleren Osten und Lateinamerika, obwohl kleiner im Umfang, gibt es aufstrebende Investitionen in die Halbleiterfertigung, oft fokussiert auf Verpackung und Montage. Diese Märkte übernehmen allmählich grundlegende Metrologielösungen, mit Potenzial für zukünftiges Wachstum, da sich die lokalen Ökosysteme entwickeln.
Insgesamt werden die regionalen Dynamiken im Jahr 2025 durch staatliche Maßnahmen, Strategien der Lieferkette und den Wettlauf um technologische Führerschaft geprägt sein, wobei Asien-Pazifik und Nordamerika in der Einführung fortschrittlicher Metrologie führend sind, während Europa sich auf strategische Autonomie und Resilienz in der Lieferkette konzentriert.
Herausforderungen, Risiken und aufkommende Chancen
Der Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie steht 2025 vor einer komplexen Landschaft von Herausforderungen, Risiken und neuen Chancen, während die Branche auf immer kleinere Prozessknoten und höhere Geräteskomplexität drängt. Eine der größten Herausforderungen ist die steigende technische Schwierigkeit, kritische Dimensionen (CD) an sub-5nm und sogar sub-3nm-Knoten zu messen und zu kontrollieren. Mit dem Schrumpfen der Merkmalsgrößen stoßen traditionelle optische Metrologiemethoden an ihre physikalischen Grenzen, was die Einführung fortschrittlicher Lösungen wie Streuometrie, kritische Dimensionen Rasterelektronenmikroskopie (CD-SEM) und hybride Metrologieansätze erforderlich macht. Dieser Übergang erhöht sowohl die Kapitalkosten als auch die operationale Komplexität für Halbleiterhersteller, wie von ASML und KLA Corporation hervorgehoben.
Ein weiteres erhebliches Risiko ist die Verwundbarkeit der Lieferkette für hochpräzise Metrologiegeräte und Komponenten. Die globalen Störungen der Halbleitersupply-Chain in den letzten Jahren haben die Bedeutung robuster Beschaffungsstrategien und die Möglichkeit von Lieferverzögerungen unterstrichen, die sich auf die Ramp-up-Pläne von Fabriken und die Optimierung des Ertrags auswirken können. Außerdem erfordert das rasante Tempo der Innovation in den Gerätearchitekturen – wie z.B. Gate-All-Around (GAA) Transistoren und 3D NAND – neue Metrologielösungen, die in der Lage sind, komplexe 3D-Strukturen zu charakterisieren, wie von der Halbleiterindustrievereinigung festgestellt wurde.
- Datenmanagement und KI-Integration: Die Explosion der von fortschrittlichen Knoten generierten Metrologiedaten stellt sowohl eine Herausforderung als auch eine Chance dar. Effektives Datenmanagement und die Integration von künstlicher Intelligenz (KI) und maschinellem Lernen (ML) für die Echtzeit-Prozesskontrolle werden zunehmend essenziell. Unternehmen, die in KI-gesteuerte Metrologieanalysen investieren, wie Hitachi High-Tech, haben die Möglichkeit, sich einen Wettbewerbsvorteil zu verschaffen.
- Kostenpressuren: Die hohen Kosten von Metrologiewerkzeugen der nächsten Generation sind ein anhaltendes Risiko, insbesondere für kleinere Foundries und integrierte Gerätehersteller (IDMs). Dies könnte zu einer Konsolidierung in der Branche oder zu einer erhöhten Abhängigkeit von Leasing und as-a-Service-Geschäftsmodellen führen.
- Aufkommende Chancen: Der Übergang zu fortschrittlicher Verpackung, einschließlich Chiplets und heterogener Integration, schafft neue Nachfrage nach Metrologielösungen, die auf die Inspektion auf Wafer- und Die-Ebene zugeschnitten sind. Darüber hinaus erweitert das Wachstum von Automobil-, KI- und IoT-Märkten den Anwendungsbereich für Halbleitermetrologie, wie Gartner berichtet.
Zusammenfassend wird der Bereich der Halbleiter-Lithografie-Metrologie im Jahr 2025 zwar mit technischen, finanziellen und lieferkettenbezogenen Risiken konfrontiert sein, aber ist auch positioniert für Wachstum durch Innovationen in den Bereichen KI, fortschrittliche Verpackung und neue Gerätearchitekturen.
Zukünftige Ausblicke: Innovation, Investitionen und strategische Empfehlungen
Der zukünftige Ausblick für die Halbleiter-Lithografie-Metrologie im Jahr 2025 wird durch schnelle Innovationen, robuste Investitionen und sich entwickelnde strategische Imperative geprägt. Da die Halbleiterindustrie auf sub-3nm-Prozessknoten zusteuert, intensiviert sich die Nachfrage nach fortschrittlichen Metrologielösungen. Schlüsselfiguren beschleunigen die F&E, um die Herausforderungen kleinerer Merkmale, komplexer 3D-Strukturen und der Integration neuer Materialien zu bewältigen.
Innovation wird voraussichtlich im Mittelpunkt der Entwicklung hochauflösender, nicht destruktiver Metrologiewerkzeuge stehen, die in der Lage sind, Echtzeit-Feedback während des Lithografieverfahrens zu geben. Technologien wie hybride Metrologie – die optische und e-beam-Techniken kombinieren – gewinnen an Bedeutung aufgrund ihrer Fähigkeit, umfassende Daten über kritische Dimensionen und Überlagerungsgenauigkeit zu liefern. Auch die Integration von künstlicher Intelligenz und maschinellem Lernen in Metrologiesysteme wird voraussichtlich die Defekterkennung und Prozesskontrolle verbessern, die Zykluszeiten verkürzen und den Ertrag erhöhen. Unternehmen wie ASML und KLA Corporation stehen an vorderster Front und investieren stark in Plattformen der nächsten Generation, die auf extreme ultraviolette (EUV) Lithografie und Anwendungen für fortschrittliche Verpackungen zugeschnitten sind.
Die Investitionstrends deuten auf einen anhaltenden Zustrom von Kapital in die Metrologie-Forschung und -Entwicklung hin, sowohl von etablierten Halbleiterherstellern als auch von aufstrebenden Foundries. Laut SEMI wird erwartet, dass die weltweiten Ausgaben für Halbleiterausrüstung im Jahr 2025 neue Höhen erreichen, wobei ein erheblicher Teil für Metrologie- und Inspektionswerkzeuge vorgesehen ist. Strategische Partnerschaften zwischen Ausrüstungsanbietern und Chipherstellern sind zunehmend üblich geworden, um maßgeschneiderte Lösungen zu entwickeln, die spezifische Prozessanforderungen adressieren.
Strategische Empfehlungen für Akteure im Jahr 2025 sind:
- Priorisierung der Einführung von KI-gesteuerten Metrologieplattformen zur Verbesserung der Prozesskontrolle und prädiktiven Wartung.
- Investitionen in hybride und multi-modale Metrologielösungen zur Bearbeitung der wachsenden Komplexität der Gerätearchitekturen.
- Förderung von Kooperationen zwischen Ausrüstungslieferanten, Foundries und Forschungseinrichtungen, um die Innovationszyklen zu beschleunigen.
- Erweiterung der Metrologiefähigkeiten zur Unterstützung der fortschrittlichen Verpackung und heterogenen Integration, die für zukünftige Anwendungen wie KI, 5G und Automobilelektronik entscheidend sind.
Zusammenfassend wird der Markt für Halbleiter-Lithografie-Metrologie im Jahr 2025 von technologischen Durchbrüchen, strategischen Investitionen und kollaborativer Innovation geprägt sein, die alle darauf abzielen, die fortwährende Skalierung und Diversifizierung von Halbleitergeräten zu ermöglichen.
Quellen & Referenzen
- ASML Holding
- KLA Corporation
- Hitachi High-Tech Corporation
- Onto Innovation
- TechInsights
- Carl Zeiss AG
- Nikon Corporation
- Canon Inc.
- MarketsandMarkets
- TECHCET
- Europäischer Chips-Act
- Halbleiterindustrieverband